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第九十一章 深硅刻蚀工艺

“是的。这个陀螺仪,我不准备只采用牺牲层工艺。”

陈泉没有丝毫慌乱。

记忆里,陀螺仪采用的加工工艺,的确发生了变化。

之所以,陈泉要抛出新论文,也跟加速度传感器论文,被《AppliedPhysicsLetters,应用物理快报》采用有些关系。

应用物理快报,在半导体工艺系列里,算是与MEMS有关联的期刊里,最好的一波期刊了。其SCI影响因子超过了4。

(真正的MEMS专业期刊,还没有面世。)

按理,论文被确定采纳,是件大好事,但陈泉和曲燕秋有点坐不住了。因为不论是他还是她,都没有任何感觉。

前两次的过关,陈泉和曲燕秋,都能明显看到,或者感到一些不同。

例如第一次过关,曲燕秋被实质激活,第二次,干脆苏醒。可现在,没有消息,就是最坏的消息。

所以两个人,不得不继续拔高心理目标,把论文的层次,再推高一个档次。

这次的目标,盯叮住了CNS(CELL,SCIENCE,NATURE),这三本顶级超一流期刊,一次就给他搞到位。

这种超一流期刊论文,在80年代末,不用多,只要有一篇,在国内,就可以开宗立派,直接成立专属实验室,乃至新的专业。

这个陀螺仪,以及它后面的工艺论文,就是陈泉和曲燕秋两个人,精心选出来的目标。

.....

“不是牺牲层工艺?还有别的工艺吗?我怎么没有听说?”

王工眯起眼睛,重新打量起眼前的,年轻得不像话的青年。

“嗯,姑且算是我的发明吧。这次想申请的专利,就有它一个。”

国际专利申请的初期,花钱不算太多,交800到一千美元的报名费,就可以有12到18个月的独占期。没有这个时间差,MEMS项目组,支付不起加速度传感器的专利申请。

“这个工艺叫什么名字?”

“嗯,叫.....”

陈泉挠了挠头。

所有的记忆,都是图像记忆,名字什么的,从来都是没有。

“我还没有给它起名呢。要不就叫深硅刻蚀工艺吧。”

陈泉按照直觉印象,随口起了个名字。名字说出口后,感觉还不错。

“深硅刻蚀工艺?那是什么东西?”

王工满脸迷惑。“能不能给我解释一下,这个工艺是如何实现的?”

“能倒是能,不过这可就是真正的核心技术了.....”

陈泉十分为难,看向四周,满脸的不放心。

“王工,你就别难为.....”

林书强跑过来帮腔。

“哈,小伙子,你小瞧了我。”

王工突然虎躯一震,挺直了身体。“只要你能说服我,可以实现眼前的这套陀螺仪,200万的赞助资金,我们航院出了!”

“你们航院出了?”

陈泉傻眼了。

不仅陈泉傻眼了,其他人也都傻眼了。

黄楚雄傻眼了,赵良材傻眼了,连林书强都傻眼了。

作为校长,他竟然不知道,下面的航院,居然如此有钱了?

航院的刘院长,其实也傻眼了。

航院哪里有什么钱啊!

但他什么都不说,接着看热闹。

......

“我们单独聊聊?”

赵良材最先反映过来。这位王工,作为航院院长的客人,身份已经呼之欲出了。

“好。”

王姓中年人直接出手,把讲台上的模型,搂了下来,揣在怀里。“我们走?”

.....

“等等,等等!等一下!”

在一边看热闹,看得正高兴的孙厂长,站了起来。“我怎么觉得不对劲呢?今天的会议主题,不是让我们冰飞对项目进行审查吗?怎么现在就要散会?”

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